项目编号 : CBNB-20262045
公布日期 : 2026-02-11
受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2026-02-11在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:甬江实验室因发展需要，需采购双枪电子束蒸发系统和多腔多靶磁控溅射系统各1套。
资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:0762-2640CBNB2002
招标项目名称:甬江实验室采购双枪电子束蒸发系统和多腔多靶磁控溅射系统项目
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 双枪电子束蒸发系统 | 1套 | 双枪电子束蒸发系统配置2套电子枪和2套坩埚，在冷泵的作用下达到高真空状态，可用于单金属或者合金薄膜的蒸发，最大支持8英寸晶圆衬底，兼容2英寸、4英寸和6英寸衬底。 | / |
| 2 | 多腔多靶磁控溅射系统 | 1套 | 多腔多靶磁控溅射系统设备主要包括进样传送系统，真空系统、 镀膜工艺系统、辅助工艺系统和工艺控制系统等组成。 | / |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品（双枪电子束蒸发系统、多腔多靶磁控溅射系统）的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、
未在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后的在招标会员区根据招标公告的相应说明获取招标文件！
咨询电话：010-51957458
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联系人：李杨
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来源：中国电力招标采购网
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：cbbidding
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